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   LT-900 시리즈 2차원 레이저 측정 변위계
  글쓴이 : 스코프코리아      날짜 : 08-01-29 23:47      조회 : 2970     
   LT-9500카달록.pdf (782.4K), Down : 29, 2008-01-31 01:12:10
   https://www.youtube.com/watch?v=E7isqe-Aw6E (1333)
   http://sensor.jp/henni/laser/lt_9000/features01.jsp (429)

KEYENCE 레이저 비전식 변위 시스템 LT-9500 세트입니다.
 
LT9000 시리즈는  비접촉 레이저 정밀 측정기로 기존 Z 축만을 측정하던 1차원 변위계에 가로-세로축 측정을 추가해
 
평면형 레이저 치수 측정이 〈?완성형 레이저 변위계입니다.
 
뿐만아니라
 
비디오 비젼 시스템으로 별도의 현미경이 없이도 작업 내용을 치수측정 스케일과 같은 화면에 출력하고
 
전용 컨트롤러로 여러가지 측정환경 설정이 가능합니다.
 

 

LT-9000 Series Laser Confocal Displacement Meter Features

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For full details, download the PRODUCT CATALOG using the CATALOG icon in the Online Support and Services box above
Two Directional Scanning

Surface Scanning

Two directional scanning for excellent resolution and stability.


Z axis scanning

Z-axis Scanning

Confocal principle results in accuracy 10 times greater than conventional models.


X axis scanning

X-axis Scanning

Wide, x-axis scanning results in ultra stable measurements.


Easy Setup

Easy Setup

Setup is quick and easy using a special remote console.


Surface Scanning Displacement Meter Applications

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Microscopic targets

Microscopic Targets

Small spot size enables measurement of microscopic targets.


Transparent targets

Transparent Targets

Film thickness and surface condition of transparent targets can easily be obtained using the confocal scan method.


Rough surface target

Rough Surface Targets

Light intensity integration function and confocal scanning enable high stability.


Angle measurement

Angle Measurement

Angle measurements can be made in 0.01 degree increments

2개의 레이저 스캔이 고정밀도·고안정성을 실현해
레이저 측정기의 완성형을 추구했습니다

음차 유닛과 요동 유닛을 조합한 고정밀도 더블즈 스위치 방식으로,
재질, 색, 기울기에 영향을 받지 않는 변위·형상 측정기가 탄생했습니다.
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
더블즈 스위치
고정밀도 레이저 측정기
LT-9500시리즈
 
종래비10배

0.01μm의 고분해가능으로 모든 대상물을 측정

Z축스캔  
공초점과 음차를 이용한 고정밀도 측정 방식
레이저빛은 음차에 의해 고속으로 상하하는 대물렌즈를 대로, 대상 물상으로 초점을 묶습니다.그 때의 반사광은 핀호르의 위치에서 일점에 집광 되어 수광 소자에 입광 합니다.입광 한 순간의 대물렌즈의 위치를 센서로 측정하는 일로, 대상물까지의 거리를 재질·색·기울기에 영향을 받지 않고 정확하게 측정합니다.
세계 최초

용도와 안정성을 추구하는 와이드 슬라이드 방식

X축스캔  
요동 유닛에 의한 고정밀도 스캐닝
고정밀도 요동 기구에 의해서2μm의 스포트를 최대1100μm수평 이동할 수 있습니다.이 스캔 방식을 채용하는 일로 형상·각도·면적의 측정이 가능하게 되었습니다.
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
스캔폭은 목적에 따라 자유롭게 가변
용도와 대상물의 표면 상태에 맞추어 레이저의 스캔폭을 가변할 수 있습니다.또 스캔 데이터를 연산하는 일로 안정성이 높은 변위 측정을 가능하게 했습니다.
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
 

대상물의 특성을 가리지 않고 고정밀도 변위 측정

미세 워크

같은 축 방식의 소스포트 레이저에 의해, 모든 미세 포인트를 측정 가능

LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기 LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
와이어의 높이 측정
프르툽의 잔후측정
협핏치본딘그의 와이어의 높이를 확실히 측정할 수 있습니다. 도랑의 깊이나 형상을 안정되어 측정할 수 있습니다.

조면워크

레이저 스캔 방식이 가져오는 광량 적산 기능에 의해, 높은 안정성을 실현

LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
웨이퍼의 휘어짐 측정
패턴이 있는 웨이퍼의 휘어짐을 안정 측정할 수 있습니다.
 
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기

표면의 영향을 받아 측정치가 흐트러지고 있습니다.
[광량 적산OFF의 경우]

표면 패턴의 영향을 받고 있습니다.
▼
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기

측정치가 안정되어, 휘어짐 형상을 측정할 수 있었습니다.
[광량 적산ON의 경우]

패턴의 영향을 제거해, 정확하게 측정 되어 있습니다.

광량 적산 기능

안정성을 실현

(1) 요동 유닛에 의해2μm의 스포트를X축방향으로 거절합니다.
(2) X축방향의 각 스포트의 데이터는 변위 위치 데이터(Z축)(와)과 수광량 데이터의2개의 데이터로 나누어집니다.
(3) 표면이 엉성한 면에서는 수광량이 많게 안정된 데이터와 수광량이 낮고 불안정한 데이터가 생깁니다.광량 적산 기능에서는,Z축방향으로 광량을 적산하는 것으로 광량차이를 한층 더 크게 해, 수광량이 적은 불안정한 데이터의 영향을 거의 받는 일 없이 안정된 변위 위치를 출력합니다.
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
 
 
 

넓은 용도를 커버하는 다채로운 측정 모드

NEW

형상 측정

요동 유닛에 의해 광축상의 형상을 정확하게 트레이스

기반상의 크림은 라든가 형상 측정
납프리는 라든가 형상을 측정해 크랙, 브릿지, 땜납 부족등의 이상을 검사합니다.임의의 점의 단차 측정이 가능합니다.
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기 LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기

투명체 측정

공초점 원리에 의해, 투명체의 표면·막후·두께를
안정되어 측정

광디스크의 두께 측정
광디스크의 중간층의 두께를 측정합니다.
기울기 보정 기능과 복수면측정 기능을 사용하는 것으로 확실한 계측이 가능하게 됩니다.
LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기 LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
NEW

각도 측정

LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
CCD(와)과 커버 유리의 평행도 측정
신개발의 상대 각도 측정 기능에 의해 유리 이면을 기준으로 했다CCD표면의 기울기가0.01번단위로 정확하게 측정할 수 있습니다.
NEW

단면적 측정

LT-9000시리즈 / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
액정 씰재의 단면적 측정
유리 기판의 붙여 맞댐용으로 도포된 씰재의 형상, 단면적을 측정합니다.단면적의 직접 측정이 가능하게 되었습니다.
 
 

뛰어난 조작성으로 시작을 백업

선명 현미경 기능

고속 오토 포커스로 선명 화상

측정부에 초소형CCD카메라를 내장.모니터상에서 대상물을 약85배※로 확대해 관찰할 수 있습니다.전용 광학 설계에 의해 선명한 화상을 얻을 수 있어 미세 워크에 대해서의 설정이 간단하게 되었습니다.(※전용 모니터CA-MN80사용시)
IC팁
10엔동전 봉황도
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기   LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기

측정치·파형 모니터

리얼타임에 측정치와 파형을 표시

측정치 및 파형을 리얼타임에 표시하는 기능을 탑재.변위·형상 데이터의 관측이 용이하게 실시할 수 있습니다.
리드는 다 부
각인부
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기   LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기

해외 대응의 간단 설정 메뉴

전용 콘솔로 간단 조작

전용 콘솔과 알기 쉽고 간단한 설정 메뉴에 의해서 높은 조작성을 실현합니다.또 해외에서의 사용도 고려한 영문 변경 기능도 탑재.
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
NEW

옵션 필요하지 않고의 멀티I/O

제어의 자유도가 향상

종래비1/2의 컴팩트 보디에 아날로그 출력2ch,RS-232C출력, 판정 출력2ch, 바이너리 출력등 필요하게 되는 인터페이스를 모두 표준으로 탑재.
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
 
 

풍부한 기능으로 조정으로부터 설정까지 서포트

측정부·콘트롤러 호환

측정부에도CPU(을)를 내장해 교정 데이터등의 측정부 정보를 콘트롤러에 디지털 전송 하는 것으로 측정부 호환에 대응했습니다.교환시의 귀찮은 조정은 불필요합니다.

교정 기능

기준 워크를 사용해 측정치를 교정할 수 있습니다.수치에 의한 이론 교정을 실시할 수 있기 위해, 측정 내용이나 대상 워크에 맞추어 최적인 조정을 할 수 있습니다.

20m케이블 연장

콘트롤러, 측정부간의 통신에 디지털 방식을 채용하는 것으로20m까지 연장 가능하게 되었습니다.설치시의 자유도가 크게 퍼집니다.

풍부한 계측 모드

 

2ch동시 측정

피크호르드, 보텀 홀드, 피크to피크호르드 등9종류의 측정 모드를 탑재.아날로그 콘트롤러나PLC(을)를 사용하지 않고, 용도에 맞춘 모드 설정이 가능합니다.   2개소 동시에 측정 가능.유리의 표면 위치와 두께의 측정등 동시에 측정해 표시하는 것이 가능합니다.
기반의 휘어짐 측정   유리의 표면 위치와 두께 측정

부착의 자유도를 크게 넓히는 장기 타입

30mm의 장기에 대응
측정 범위 -1mm~+1mm
극소 스포트 7μm
분해가능 0.1μm
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기 더블즈 왈가닥
고정밀도 레이저 측정기

LT-9030M
측정 레인지의 비교
LT-9000시리즈  / 더블즈 왈가닥 고정밀도 레이저 측정기
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

물품번호    
63 유니온 소형 비접촉 레이저 외경 측정기 마이크로미터    
62 키엔스 비접촉 레이저 외경 측정기 마이크로미터 LS-7500    
61 키엔스 비접촉 레이저 외경 측정기 마이크로미터 LS-7000    
60 오므론 ZG2 단면 형상 측정 레이저 변위계    
59 LJ-3000 2D 이차원 비접촉 레이저 표면 형상 측정기    
58 OMRON 옴론 3Z4L 레이저외경측정기 15Ø    
57 안리츠 KL350A KL151A 미세-고속 레이저 외경 측정기 2Ø    
56 MICRO-EPSILON optoNCDT 2200 레이저 변위계    
55 KEYENCE LS-7000 레이저 외경 측정기 32Ø    
54 DORC ZX-1 Mini 광섬유 곡면검사용 간섭계    
53 [!] 라이카 HDS3000 레이저 대형 3D 스케너    
52 [공지] NEC INT-5000 초장거리 3차원 레이저 측정기    
51 항공기, 선박등 대형 정밀 구조물용 3차원 측정기    
50 MINOLTA VIVID 9i 미놀타 3차원 3D 스케너    
49 MINOLTA VIVID 700 미놀타 3차원 3D 스케너    
48 MINOLTA VIVID 300 미놀타 3차원 3D 스케너    
47 NEC Danae-R 3D 3차원 스케너 + 래피드폼 소프트웨어 세트    
46 로렌드 3D Modeling Machine LPX-250 3차원 LASER 3D 스케너    
45 Steinbichle C100VZ 3차원 3D 스케너    
44 키엔스 2차원 자동 치수 측정기 VM-8040 비디오미터    
43 파나소닉 SUNX 초고속 레이저 변위계 HL-C1C    
42 초장거리 레이저 변위계    
41 ZYGO MESA 레이저 간섭계    
40 ZYGO PTI250 RS 렌즈용 레이저 간섭계    
39 LT-8000 시리즈 2차원 레이저 측정 변위계    
38 LT-900 시리즈 2차원 레이저 측정 변위계    
37 OPTO CONTROL 2600 정밀 레이저 외경측정기 34Ø    
36 미쓰도요 LSM-500 레이저 외경 측정기 2Ø    
35 LS-5000 고정밀도 비접촉 레이저 외경 측정기 62~120Ø    
34 LS-3000 고정밀도 비접촉 레이저 외경 측정기 32Ø    
33 VG-300 외경측정기 VG-035 레이저 라인 게이지 - 32Ø    
32 LX2-03 레이저 비접촉 변위 측정기    
31 SICK LD-OEM1000 3D 레이저 스케너    
30 키엔스 2D 에리어 레이저 스캐너    
29 SICK LMS-200 2D 레이저 스케너    
28 키엔스 장초점 레이저 변위계 LK-500    
27 CV-2000 , OP-42342 이미지 분석기 비전카메라    
26 오므론 FZ2 칼라 비전센서    
25 키엔스 XG-7000 고기능 비전센서    
24 LX2-100 MS2-H50 레이저 라인에리어 측정기    
23 NAIS LASER DISPLACEMENT SENSOR 레이저 변위계    
22 키엔스 고속 레이저 변위계 LC-2400 정밀도 0.02 μm    
21 CV-120 이미지 분석기 비전카메라    
20 CV-300 이미지분석 시스템 비전카메라    
19 샤프 IV-S20 이미지 분석기 비전카메라    
18 시그마 3차원 측정 소프트 COMS EMS98AD-3D    
17 키엔스 레이저 변위계 LB-040 LB-1000 정밀도 2μm    
16 미쓰도요 LSM-3000 레이저 외경 측정기 ( LSM-310S ) 10Ø    
15 비전시스템 CV-100 이미지 분석기    
14 KEYENCE LE-4000 비접촉 레이저 표면 형상 측정기    
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