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¹°Ç°¹øÈ£    
11 ¿À¹Ç·Ð ·¹ÀÌÀú º¯À§°è 3Z4M - °íÀåÇ°    
10 ¾È¸®Ã÷ KL3300A laser displacement sensor    
9 Mark-202 °íÁ¤¹Ð 2Ãà ½ºÅ×ÀÌÁö ÄÜÆ®·Ñ·¯ stage controller    
8 LX2-100 , LX2-60 ·¹ÀÌÀú À§Ä¡ ÃøÁ¤ ¼¾¼­    
7 FU-L50Z ºñÁ¢ÃË ±¤¼¶À¯ ÃøÁ¤¼¾¼­ 5¼¼Æ®    
6 MVS-320 ºñÁ¢ÃË ·¹ÀÌÀú º¯À§-Áøµ¿ ÃøÁ¤±â 0.01mm    
5 CONTEC ÀÚµ¿È­¿ë µðÁöÅÐ ÀÔÃâ·Â º¸µå PIO-32/32L PCI    
4 CV-120 À̹ÌÁö ºÐ¼®±â (ºñÀü½Ã½ºÅÛ)    
3 CCD 0.003mm ·¹ÀÌÀú ÃøÁ¤±â LK-030 , LK-2000 º¯À§°è    
2 ±×·¡ÇÈ ¾Æ³¯·Î±× ÄÁÆ®·Ñ·¯ ¸ðµ¨ RJ-800    
1 CCD 0.003mm ·¹ÀÌÀú ÃøÁ¤±â LK-080 , LK-2100 º¯À§°è¼Â    
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