키엔스 VK-9500초심도 컨포칼 3D 측정 현미경

직선 곡선 다양한 2D-3D 측정

반도체 부품 및 광학재료의 3차원 미세 구조 관측
패턴 가공후에 형상 및 각도에 대한 가공품질측정에 사용

기능

 대물 렌즈 10,50,100,1500

 광학배율 : 100× ~ 15000×

 디지털배율 : 400x ~6000x

 측정용 광학계 : 핀 홀에 의한 콘포칼 광학계

 측정 범위 - 가로（Ｈ）：μｍ - 1350, 675, 270, 90 - 세로（Ｖ）：μｍ - 1012, 506, 202, 67

 작동 거리：ｍｍ - 16.5, 3.1, 0.35, 0.2 

 수평 해상도：μｍ - 0.14μm ▸광학 줌 - 1~6배(0.1배 스텝)

 최대 시료 사이즈 - 시료 최대 높이 : 28㎜ × 3 - 시료 최대 크기 : 직경 318ｍｍ 전면 관찰 가능