KEYENCE 레이저 비전식 변위 시스템 LT-9500 세트입니다.
LT9000 시리즈는 비접촉 레이저 정밀 측정기로 기존 Z 축만을 측정하던 1차원 변위계에 가로-세로축 측정을 추가해
평면형 레이저 치수 측정이 〈��?완성형 레이저 변위계입니다.
뿐만아니라
비디오 비젼 시스템으로 별도의 현미경이 없이도 작업 내용을 치수측정 스케일과 같은 화면에 출력하고
전용 컨트롤러로 여러가지 측정환경 설정이 가능합니다.
대상물의 특성을 가리지 않고 고정밀도 변위 측정 |
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미세 워크 |
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같은 축 방식의 소스포트 레이저에 의해, 모든 미세 포인트를 측정 가능 | |
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와이어의 높이 측정 |
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프르툽의 잔후측정 |
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| 협핏치본딘그의 와이어의 높이를 확실히 측정할 수 있습니다. |
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도랑의 깊이나 형상을 안정되어 측정할 수 있습니다. | |
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조면워크 |
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레이저 스캔 방식이 가져오는 광량 적산 기능에 의해, 높은 안정성을 실현 | |
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웨이퍼의 휘어짐 측정 |
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| 패턴이 있는 웨이퍼의 휘어짐을 안정 측정할 수 있습니다. | |
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표면의 영향을 받아 측정치가 흐트러지고 있습니다. |
[광량 적산OFF의 경우]
표면 패턴의 영향을 받고 있습니다. |
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측정치가 안정되어, 휘어짐 형상을 측정할 수 있었습니다. |
[광량 적산ON의 경우]
패턴의 영향을 제거해, 정확하게 측정 되어 있습니다. | | |
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광량 적산 기능 |
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안정성을 실현 |
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| (1) |
요동 유닛에 의해2μm의 스포트를X축방향으로 거절합니다. |
| (2) |
X축방향의 각 스포트의 데이터는 변위 위치 데이터(Z축)(와)과 수광량 데이터의2개의 데이터로 나누어집니다. |
| (3) |
표면이 엉성한 면에서는 수광량이 많게 안정된 데이터와 수광량이 낮고 불안정한 데이터가 생깁니다.광량 적산 기능에서는,Z축방향으로 광량을 적산하는 것으로 광량차이를 한층 더 크게 해, 수광량이 적은 불안정한 데이터의 영향을 거의 받는 일 없이 안정된 변위 위치를 출력합니다. | |
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