O-PIAS 6축 레이저 오토콜리미터 Autocollimator 6축 레이저 경사-이동량 측정기입니다.
O-PIAS 6축 편심 측정기 레이저 콜리메이터 HIP2000 헤드 SET
복합광 Sensor O-PIAS 특징
- Device 실장시의 위치결정 검사에 최적
- 각도-높이-위치를 １대의 측정기로 측정가능
- 다양한 Stage군과 연동하여 System Up 가능
■시스템 구성예
| O-PIAS 광학 헤드 |
| HIP-2000 화상 처리 장치 |
| 모니터 |
그 외 각종 스테이지·콘트롤러
패러렐 밀러·웨지 기판 등 |
■ 6축센서(O-PIAS)
■촬상 디바이스 실장용 위치 결정 센서의 결정판! 1 헤드 비접촉 6축센서
기울기(θXθY), 높이(Z), 평면 위치(X·Y·θZ)의 6축의 위치(자세)를 메카적인 변환 기구 없고,
같은 축 측정할 수 있습니다. |
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특징 |
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촬상 디바이스 실장용 위치 결정 센서의 결정판!
■전환 기구 불요, 1 헤드 비접촉 6축센서
오토 콜리메이터 광학계와 촬상 광학계를 1 헤드에 탑재하는 것으로, 촬상 디바이스의 기울기(θXθY), 높이(Z), 평면 위치(X·Y·θZ)의 6축의 위치(자세)를 메카적인 변환 기구 없이 측정할 수 있습니다.
■고화소 디바이스에도 사용할 수 있는, 전축고분해가능
높이, 평면 위치의 측정 분해가능은1.5μm*, 여파는15초, 회전 각도는0.01о라고 새로운 고화소 모델에도 사용 하실 수 있는 분해가능을 실현했습니다.
■시리얼 출력으로, 자동화 시스템에 대응
각 측정 데이터는 시리얼 출력됩니다.시퀀서등과의 편성에 의해, 자동 위치 결정 시스템이 구축이 가능합니다. |
| 어플리케이션 |
ISM의 실장
PBS의 기울기와 위치 맞춤 |
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| 측정계 시스템 전체상·배치예 |
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| 6축측정·검사 프로세스예 |
| 복합 센서O-PIAS(은)는, 이하의 프로세스(측정 내용), 원리, 사양에 의해 6축센싱을 실시합니다. |
| 6축측정계의 바리에이션 |
| 표준 구성(O-PIAS헤드＋HIP-2000) 이외에도, 헤드와 프로세싱 유닛과의 편성에 의해, 이하의 측정계가 선택 하실 수 있습니다. |
| 형식 |
본제품은 커스텀 대응이 됩니다.이하의 사양에 대해 제시해 주시면 견적을 하겠습니다.
■헤드 형상 ■촬상계 배율 ■높이 측정 외부 광원 ■여파 측정 광축
□T형 □2배(2.4×1.8) □있어
□상형 □4배(1.2×0.9) □없음
■프로세싱 유닛
□HIP-2000(6축측정 대응)
□HIP-1200(θXθY마셔 측정, 멀티 스포트 대응, 평면 위치는 측정 불가)
□HIP-550(θXθY마셔 측정, 싱글스 포트 전용, 평면 위치는 측정 불가)
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| 악세사리 |
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