
레이저 도플러 진동계 V1000
속도 가속도 변위 (미분적분) 모듈 설치
1)광 헤테로 다인 법을 이용한 비접촉 레이저 도플러 진동계
| | 레이저 빛은 JIS C6802(등급 2)에 준거하고 있습니다. |
2)측정 감도를 비약적으로 향상
| | 잔류 노이즈의 발생을 억제한 고성능 광 간섭계입니다. |
3)측정 속도 범위
| 4레인지 전환(1m/s/V, 0.1m/s/V, 0.01m/s/V, 0.001m/s/V) 합계 160dB의 넓은 다이내믹 레인지 고감도 측정 레인지 0.001m/s/V를 실현 |
4)측정 주파수 범위 0.1Hz~3MHz에 대응
| 모든 속도 레인지(4레인지)으로 측정 주파수 0.1Hz~3MHz에 대응하고 있습니다. 주파수 범위가 넓어 위상 방향을 최소화한 측정이 가능합니다. 고주파 유닛 V0103(옵션)을 사용함으로써 측정 주파수 범위를 최대 20MHz까지 확장할 수 있습니다. |
5)노이즈 리덕션 기능에서 쉽게 측정
| 종래는 반사율이 낮기 때문에 반사 테이프가 필요했던 측정물도 반사 테이프 없이 측정 가능합니다. ※대상물의 표면 상태에 의한 측정할 수 없는 경우도 있습니다.(레이저 빛을 거울에 사선 조사하는 경우 등) |
레이저 돗프라 진동 센서에서는 측정 대상물에서 반사 광량이 크게 떨어진 경우 출력 신호에 노이즈가 중첩된다현상이 보입니다.이 때 노이즈 리덕션 기능 ON으로 S/N의 양호한 측정 파형을 출력할 수 있습니다. (보충)노이즈 리덕션 기능은 "측정 대역 내의 화이트 노이즈"를 효과적으로 억압합니다.이 억압 효과는 일반적인 로우 패스 필터나 하이 패스 필터에서는 실현할 수 없습니다.다음 데이터는 반사 광량이 저하했을 때의 대표적인 출력 신호 파형입니다.노이즈 리덕션 기능을 ON/OFF했을 때 출력 신호의 S/N을 시간축 파형과 파워 스펙트럼으로 비교하고 있습니다.
변환부사 측정 주파수 범위 | 0.5Hz~3MHz |
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속도 측정 범위 | 0.02μm/s, 10m/s |
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속도 범위 | 1m/s/V 0.1m/s/V 0.01m/s/V 0.001m/s/V |
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출력 전압 | ±10V |
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로 패스 필터 | 25kHz, 250kHz, 1.5MHz, 3MHz |
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하이 패스 필터 | 0.1Hz, 10Hz |
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노이즈 축소 | HIGH, LOW, OFF(3선택) 노이즈 리덕션 기능의 효과에 대해서 |
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인디케이터 | 20요소 LED (SIGNAL LEVEL표시) |
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변위 출력 레인지 | ※옵션 (별표 참조) |
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가속도 출력 레인지 | ※옵션 (별표 참조) |
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| | 센서부사 형명 | 광 헤테로 다인 법 |
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레이저 광원 | He-Ne레이저(파장 632.8nm) |
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레이저 광선 출력 | 1mW이하 |
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레이저 안전 기준 | 클래스 2 JIS C6802규격 적합 |
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측정 거리(WD) 집광 렌즈 마운트 면보다 | 200mm, 2m |
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빔 지름 | φ 20μm(측정 거리 200mm시) |
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외형 치수 | 약 59mm(W)×43(H)×122(D)mm (집광 렌즈, 돌기물 포함하지 않고) 계획도를 표시 |
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파이버장 | 3m(9m까지 개편 가능) |
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중량 | 약 0.55kg(케이블 포함하지 않고) |
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일반 사양 사용 전원 | AC100V±10%50/60Hz (출하시 AC100,110,120,220V±10%에서 1개를 선택 가능) |
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동작 온도 범위 | 0〜45℃ |
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동작 온도 범위 | 20~80%(단 결로 하지 않는지) |
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본체 치수 | 약 362(W)×178(H)×400(D)mm (돌기물 포함하지 않고) 계획도를 표시 |
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본체 질량 | 약 11kg(옵션 제외) |
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소비 전력 | 70VA |
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| 별표(옵션 미적분 유닛 V0101) 가속도 출력 가속도 레인지
 | 속도 범위 | 주파수 범위
 | 1m/s/V
 | 0.1m/s/V
 | 0.01m/s/V
 | 0.001m/s/V
 | | A | ±104m/s2 (103m/s2/V) | ±103m/s2 (102m/s2/V) | ±102m/s2 (101m/s2/V) | ±101m/s2 (100m/s2/V) | 1Hz~5kHz | | B | ±106m/s2 (105m/s2/V) | ±105m/s2 (104m/s2/V) | ±104m/s2 (103m/s2/V) | ±103m/s2 (102m/s2/V) | 1Hz~50kHz | | C | ±108m/s2 (107m/s2/V) | ±107m/s2 (106m/s2/V) | ±106m/s2 (105m/s2/V) | ±105m/s2 (104m/s2/V) | 20Hz, 100kHz |
| 변위 출력 변위 레인지
 | 속도 범위 | 주파수 범위
 | 1m/s/V
 | 0.1m/s/V
 | 0.01m/s/V
 | 0.001m/s/V
 | | A | ±100m (10-1m/V) | ±10-1m (10-2m/V) | ±10-2m (10-3m/V) | ±10-3m (10-4m/V) | 1Hz~5kHz | | B | ±10-2m (10-3m/V) | ±10-3m (10-4m/V)V | ±10-4m (10-5m/V) | ±10-5m (10-6m/V) | 10Hz~50kHz | | C | ±10-4m (10-5m/V) | ±10-5m (10-6m/V) | ±10-6m (10-7m/V) | ±10-7m (10-8m/V) | 1kHz~250kHz |
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V1002측정 행렬(측정 가능한 속도·변위와 가속도의 범위를 표시)
위 그림의 측정 범위는 속도 4범위의 합계입니다. 측정 하한치는 스펙트럼 분석기 1Hz분해능시의 노이즈 레벨입니다. 10mm를 넘는 변위를 측정할 경우 반사 밀러 등의 사용이 필요합니다.
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사진 1마이크로 봉송 탄성파 측정 | 마이크로 릴레이 작동시의 전극 진동(탄성파)를 측정한 예입니다. 사진 1은 마이크로 릴레이의 극권에 레이저 빛을 쪼이고, 진동 측정을 하는 모습입니다.
그림 1은 전극부 탄성파를 측정한 예입니다. 전극의 접점이 완전히 접촉하는 과정에서 바운드가 발생하는 모습이 보입니다. | 그림 1극권의 탄성파(속도 파형) | 측정 조건 사용 기기 | V1002 | 속도 범위 | 0.01m/s/V | 로 패스 필터 | 3MHz | 하이 패스 필터 | 0.1Hz | 노이즈 | |

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광 도플러 효과를 이용 레이저 도를러 진동계는 센서 헤드에서 레이저 빛을 진동 물체에 조사하여 진동 물체에서 반사된 레이저 광선(도플러 변형 레이저 빛)의 주파수 변화(속도 변화)를 전압으로 변환(F/V변환하고 진동 현상을 검출하는 비접촉형 진동 속도 센서입니다.신호 처리 회로에 의한 속도 신호를 변위 신호와 가속도 신호로 변환하고 출력할 수도 있습니다. 폐사의 레이저 돗프라 진동계는 광 헤테로 다인 방식을 채용하고 있습니다.레이저 빛의 주파수 474THz에 대한 80MHz의 주파수 시프트를 실시함으로써 측정 물의 이동 방향을 포함한 진동 속도 검출이 가능하게 하고 있습니다. [개략도]
명칭 | 형식 | 비고 |
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| 미적분 유닛 | V0101 | 변위 출력·가속도 출력 (변위·가속도 측정 범위:각 3레인지 전환) | | 고주파 유닛 | V0103 | 측정 주파수 범위를 최대 15MHz까지 확장 | | 미동 기능부 자석소 | V0301 | 이동량:Z축±5mm, XY축±6.5mm | | 캐링 케이스 | V0303 | 540(W)×280(D)×750(H)mm | | CCD관찰 장치 | V0304 | WD:98mm시야:약 5×5mm 모니터률:약 20배(9인치 모니터 사용 시) | | 비디오 캡처 | | 하드웨어 엔코더(고화질 MPEG-2영상)인터페이스 USB 2.0 | | 제진대 | V0305 | 530×600mm탑재 가능 중량:60kg | | 90°밀러 스코프 | | 레이저 광로 변경용(90°)특별 주문 | | 밀러 콘뽀 | OP201 | 레이저 광로 변경용 | | 대물 렌즈 설치 어댑터 | OP305 | | | 5×배 대물 렌즈 | | WD:34mm시야:약 0.98×1.3mm | | 10×배 대물 렌즈 | | WD:33.5mm시야:약 0.49×0.65mm | | 20×배 대물 렌즈 | | WD:20mm시야:약 0.24×0.32mm | | 링 조명 장치 | | 조사 각도 광축에 대한 30°LED12개 | | 삼각 | OP505 | #475(흰색) | | 헤드 | OP506 | #410 | | 랩 잭 | OP511 | 스테이지 면 160×220mm·이동량 70mm, 허용 하중 약 30kgf | | 교정 증명서 외(3종 세트자) | OP901 | 교정 증명서, 시험 성적서·이력 추적 체계도:출하시 | | 정기 교정 비용(3종 세트자) | OP902 | 일년 후의 정기 교정비 |
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